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半导体晶圆

在半导体的生产制造工艺中，任何微小的污染物对产品的质量都影响非常大，需要对污染物进行严格的控制。科

百特过滤为半导体行业提供专业的过滤解决方案，为半导体客户提供高性价比的产品。

  • 超高纳污量过滤滤芯 CMPP系列滤芯采用多层纳米纤维材料，在合理的梯度结构设计下，具备高纳污能力。
  • CMPN系列抛光液深层过滤滤芯 CMPN系列滤芯利用独特的卷绕设计，能够对CMP的slurry精准过滤，高效拦截大颗粒，放行有效颗粒。由外到内的梯度结构，增加了纳污空间，延长滤芯使用寿命。
  • PRNF/PRNN系列 光刻胶用终端过滤滤芯 PRNF/PRNN系列滤芯专为过滤光刻胶设计，采用高流速、高精度的PTFE或尼龙滤膜，结合低析出的HDPE骨架，溶出超低，适用于光刻胶的终端过滤。
  • 耐高温耐强腐蚀全氟一体式滤芯 DISP系列是专门为厂务化学品系统开发的高精度，高洁净度的一体式滤芯，适用于微电子高要求化学品的过滤。PFA材料低金属离子析出，确保了滤芯的洁净度，且耐温性能优异。DISP系列适用于各种化学药液的精密过滤。可以进行预润湿处理。 一体式结构，安装更便捷，在更换过程中，操作人员不用直接接触滤芯，降低对人体危害，保护环境。
  • CMPA系列抛光液深层过滤滤芯 CMPA系列滤芯利用独特的卷绕设计，能够对CMP的slurry精准过滤，高效拦截大颗粒，放行有效颗粒。由外到内的梯度结构，增加了纳污空间，延长滤芯使用寿命。
  • 全氟过滤器 HCPA系列是一款PFA全氟过滤器，具有非常好的耐温耐腐蚀性。超纯，超洁净的PFA材料确保了过滤器的洁净度，低金属离子析出避免对料液的污染。适用于高温、强腐蚀性的化学品过滤。
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