CMPA系列抛光液深层过滤滤芯
CMPA系列

CMPA系列滤芯利用独特的卷绕设计,能够对CMP的slurry精准过滤,高效拦截大颗粒,放行有效颗粒。由外到内的梯度结构,增加了纳污空间,延长滤芯使用寿命。



优点特性

  • 低析出

    完全由聚丙烯材料构成,利用热粘合技术,不使用粘合剂,超少的溶出物,有效控制溶出物析出。

     

  • 梯度过滤结构

    由外到内的梯度设计,避免了凝结的slurry过快堵塞滤膜表层,充分利用纳污空间。

 滤芯梯度设计.jpg

  • 有效过滤

    独特的卷绕设计,能够实现对CMP的slurry精准过滤。高效拦截大颗粒,放行有效颗粒。


  • 防止纤维脱落

    特有的网罩结构,防止了滤芯的纤维脱落。




  • 工作特性
  • 流量特性
  • 订购信息


工作特性


滤材聚丙烯
端盖/中心杆/外壳聚丙烯
最高工作温度80℃
最大工作压差

4.0 bar/ 21

2.4 bar/ 80℃


流量特性

CMPA-流量图-电子.png

订购信息

CMPA-电子-选型-cn.jpg

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