Arrayforce™气液膜接触器用于向水中充入二氧化碳

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晶圆和面板的冲洗过程会产生静电,不及时消除的话会对晶圆或者面板的产品质量产生负面影响!
目前消除静电先进方法是向水中充入二氧化碳,提高冲洗水的电导率。Arrayforce™气液膜接触器可以非常高效地

完成水中充二氧化碳的工作。


1. 膜接触器水中充二氧化碳原理

Arrayforce™气液膜接触器内部填充了大量疏水性的中空纤维,中空纤维的表面上布满了“透气不透水”的微孔。

运行过程中,中空纤维外部流过待充气的纯水,内部注入高浓度二氧化碳。二氧化碳会穿过这些“透气不透水”

的微孔溶入纯水中。

基于高密度中空纤维填充率,以及中空纤维优异的透气效果,Arrayforce™气液膜接触器可以将纯水的电导

率提高到用户需要的水平。


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2. Arrayforce™气液膜接触器的疏水机理

Arrayforce™气液膜接触器的内部,由几千至数万根中空纤维编织之后,再与中心布水管一起封入膜壳:



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致密皮层上的微孔允许气态分子在中空纤维的内外两侧自由穿过,而阻隔液态水使其始终在中空纤维的一侧(一般液态水被阻隔在中空纤维的外部)。



3. Arrayforce™气液膜接触器用于实验分析液体中脱气的规格型号

规格

膜面积

流量范围

丝材质

壳材质

工作

工作压力上限 壳程/管程

耐受PH

1×5.5

0.1 

30-300 ml/min

PMP/SP

PP

5~70°C

7/2bar

1~14

2×6

0.35 

50-1000 ml/min

PMP/SP

PP

5~70°C

7/2bar

1~14

2.5×8

1.41 

1.67-11.67 L/min

PP/PMP/SP

PP

5~70°C

7/2bar

1~14

4×13

7.66 

3.33-50 L/min

PP/PMP/SP

PP

5~70°C

7/2bar

1~14



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