LAFS系列 管道气体滤芯
耐温耐压型LAFS系列

LAFS系列滤芯外壳采用电子级不锈钢316L,内部滤芯采用PFA材料,专门应用于半导体制程的管路气体过滤,其采用滤膜PTFE,能够高效取出气体中的颗粒。同时耐腐蚀的材料能够应用于各种特殊气体的的过滤,一体式的结构,结构紧凑,    更换方便,操作容易,同时不锈钢耐温耐压,使用于高压的环境中。




优点特性

  • 高通量 低压损

    PTFE滤膜的天然疏水性,使其过滤气体时,具有超大过滤通量和超低的初始压差。

     

  • 氦气泄露测试

    通过出厂前进行氦气泄露测试,保证产品质量。

     

  • 电子级外壳处理

    外壳内表面采用电解抛光,Ra小于0.3μm,内壁表面耐腐蚀、清洁如镜。

     

  • 预处理等级

    滤芯部分与零部件都经过彻底清洗,在无尘室内进行生产、包装,滤芯的附着颗粒少,含水量<10ppb。能够快速启动过滤。

     

  • 优异的化学相容性

    膜材采用PTFE,外壳使用高纯度的电子级SUS316L材质,均具有优异的耐腐蚀性能,可以用于活性气体的过滤。同时,确保高温高压状态下气体的稳定过滤。

     

  • 精密过滤

    过滤精度达到≥3nm,实现气体的精密过滤。


  • 工作特性
  • 流量特性
  • 订购信息

工作特性


滤材PTFE
骨架PP / PVDF / PFA
过滤精度
0.003 μm
外壳

316L

工作压力0.52 MPa / 21℃
最大允许压差

正向 0.7 MPa / 21

反向 0.34 MPa / 21℃


详情请咨询 86-0571-87704266

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