LAFS系列滤芯外壳采用电子级不锈钢316L,内部滤芯采用PFA材料,专门应用于半导体制程的管路气体过滤,其采用滤膜PTFE,能够高效取出气体中的颗粒。同时耐腐蚀的材料能够应用于各种特殊气体的的过滤,一体式的结构,结构紧凑, 更换方便,操作容易,同时不锈钢耐温耐压,使用于高压的环境中。
优点特性
高通量 低压损
PTFE滤膜的天然疏水性,使其过滤气体时,具有超大过滤通量和超低的初始压差。
氦气泄露测试
通过出厂前进行氦气泄露测试,保证产品质量。
电子级外壳处理
外壳内表面采用电解抛光,Ra小于0.3μm,内壁表面耐腐蚀、清洁如镜。
预处理等级
滤芯部分与零部件都经过彻底清洗,在无尘室内进行生产、包装,滤芯的附着颗粒少,含水量<10ppb。能够快速启动过滤。
优异的化学相容性
膜材采用PTFE,外壳使用高纯度的电子级SUS316L材质,均具有优异的耐腐蚀性能,可以用于活性气体的过滤。同时,确保高温高压状态下气体的稳定过滤。
精密过滤
过滤精度达到≥3nm,实现气体的精密过滤。
工作特性
滤材 | PTFE |
骨架 | PP / PVDF / PFA |
过滤精度 | 0.003 μm |
外壳 | 316L |
工作压力 | 0.52 MPa / 21℃ |
最大允许压差 | 正向 0.7 MPa / 21℃ 反向 0.34 MPa / 21℃ |
详情请咨询 86-0571-87704266
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