GTP系列 半导体制程特殊气体过滤滤芯
GTP系列

GTP系列滤芯是专为半导体特殊气体过滤而设计。 滤材选用PTFE,成型材料选用高纯PFA,可耐高温,耐氧化,高密度折叠设计保证了高通量和低压损 。




优点特性

  • 耐高温和耐氧化

    滤材选用PTFE,成型材料选用高纯PFA,能够耐受半导体制程特殊气体。

     

  • 超高过滤精度

    PTFE滤膜,确保高拦截效率,精度可达0.003μm,满足更高要求。

     

  • 超大过滤面积

    采用高密度折叠技术,提供了超高的过滤面积。

     

  • 高通量 低压损

    PTFE滤膜的天然疏水性和高孔隙率,对气体的过滤时,提供了超大的过滤通量和超低的初始压差。

     

  • 通过出厂前完整性检测

  • 工作特性
  • 流量特性
  • 订购信息

工作特性


滤材PTFE
接口 / 骨架PFA
最高工作温度170°C 
最大工作压差

4.0 bar / 21°C

3.0 bar / 110°C

1.3 bar /170℃



详情请咨询 86-0571-87704266

订购信息

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