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科百特纯化系列之半导体制造中硼元素的有效管控
  • 科百特cobetter
  • 2023-10-16
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在超纯水中,硼元素常以硼酸B(OH)3或者硼酸根阴离子B(OH)4-的形式存在。而在半导体工艺中,湿化学品带来的硼元素可能导致晶圆表面的硼元素超标从而造成污染。硼是一种p型杂质,如果过量的硼在n型区域中分布,可能会引起逆掺杂,从而影响产品的良率。随着半导体工艺的不断发展,湿化学品中对硼元素的管控标准也逐渐在提高,因此管控化学品中的硼元素也成为了湿化学品供应商和半导体厂商的一大目标。

目前除硼的方法常见的有化学吸附法、反渗透法和化学沉淀法。研究表明,邻二醇类物质可以和水溶液中的硼基团形成硼的螯合物,在不同硼浓度的条件下螯合的产物也有所不同,基于此反应机理的化学吸附法是除硼有效的方法。

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科百特Plusgard™ CL Purifier螯合型纯化器采用了新型表面改性UPE(超高分子量聚乙烯)膜材,膜表面具有含有多羟基的改性基团。该款螯合型纯化器可以通过与硼元素的螯合反应进行稳定的化学吸附,从而能够选择性去除水溶液中的硼元素。同时,这款纯化器也具有良好的化学兼容性和较低的金属溶出等特点。实验表明,在单次过滤的条件下,科百特在超纯水中的除硼效率可以达到93%。


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