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独特设计,卓越性能:Cobetter为半导体集成供气系统(IGS)提供过滤保障
  • 科百特cobetter
  • 2023-05-26
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Cobetter Gasadv™ MGC系列气体过滤器是专为半导体芯片制程中的刻蚀、扩散、离子注入、薄膜沉积等关键制程而设计的高洁净气体过滤解决方案,该系列产品内部采用科百特自主研制的不锈钢膜/镍膜作为过滤介质,其独特设计的孔道结构,既能高效地拦截微小颗粒(1.5nm@LRV9),同时也保持了良好的气体通量,可有效保障下游所需的高洁净气体供应。


与标准的管道式过滤器不同,MGC系列产品采用符合SEMI标准的模块化设计(W型/C型密封) 。这种设计有效地减小了设备体积,使得气路系统更加紧凑,节省了空间资源,模块化设计方便了安装和维护工作,操作更加便捷。


MGC系列产品的优势如下:

特制不锈钢膜/镍膜的内部孔道结构可高效拦截粒径大于1.5nm的气体颗粒,拦截效率高达99.9999999%(LRV 9) 。

产品采用表面安装方式(1.125”C型/W型密封) ,有利于实现小型化,且便于安装和维护。

产品外壳采用高质量的VIM/VAR 316L不锈钢材质,内部流道经过电解抛光,进一步减少污染。

产品的整个生产流程都在洁净车间内进行,并经过严格的成品检测,具备高品质保证。

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科百特Gasadv™ MGC系列产品在相同进气压力和压力损失下,展现出更卓越的流量性能。举例来说,与A公司的产品相比,当过滤器压差为15kPa时,科百特的同规格产品,流量提升了33%。与B公司的产品相比,当过滤器压差为30kPa时,科百特的同规格产品,流量提升了30%。这表明MGC系列产品在气体通量上具有明显的优势,可以提供更高效的气体过滤解决方案。

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关键词:抗体样品过滤、蛋白样品过滤、疫苗样品过滤、深层过滤