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科百特自主研发,创新滤膜技术——Novacon® 1nm产品助力半导体湿法制程过滤
  • 科百特cobetter
  • 2023-04-22
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Cobetter Novacon®系列产品可应用于半导体湿法制程的过滤,采用科百特自主研发生产制造的HAPES滤膜,具有高度非对称结构,可在保证有效去除颗粒的同时,实现高流量高纳污能力。相比PTFE滤膜,Novacon®系列产品提供更为高性能的过滤解决方案,为湿法刻蚀和清洗工艺的水性溶液过滤提供保障。

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高效率

HAPES是一种绝对过滤膜,可以高效地拦截污染物颗粒,可达到1nm的过滤精度,超过了PTFE的过滤精度,能够将溶液过滤到极致的洁净度;

多样应用

基于PES材料的物理、化学性能,HAPES滤膜具有良好的亲水性和化学兼容性,适用于低温的弱酸、碱和水性溶液中。Novacon®产品在DHF、DIW、ST250、CO2 water和BOE等WEC常见溶液中具有优异稳定的过滤性能;

非对称性
Cobetter的HAPES膜采用高度非对称的结构设计,进液面采用大孔结构,出液面采用小孔结构,二者孔径比可达100倍以上。这种结构能够实现不同尺寸的污染物颗粒在单层滤膜上逐级分离,从而显著提高滤膜的纳污量和使用寿命,同时提高过滤流速。

高流速

相同精度和尺寸的HAPES和PTFE滤芯流速比较,相同压差下,HAPES滤芯的流速比PTFE高25%以上。相比PTFE,同样精度的HAPES膜有显著的流速优势。

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