Arrayforce™气液膜接触器用于向水中充入二氧化碳

晶圆和面板的冲洗过程会产生静电，不及时消除的话会对晶圆或者面板的产品质量产生负面影响！
目前消除静电先进方法是向水中充入二氧化碳，提高冲洗水的电导率。Arrayforce™气液膜接触器可以非常高效地

完成水中充二氧化碳的工作。

1. 膜接触器水中充二氧化碳原理

Arrayforce™气液膜接触器内部填充了大量疏水性的中空纤维，中空纤维的表面上布满了“透气不透水”的微孔。

运行过程中，中空纤维外部流过待充气的纯水，内部注入高浓度二氧化碳。二氧化碳会穿过这些“透气不透水”

的微孔溶入纯水中。

基于高密度中空纤维填充率，以及中空纤维优异的透气效果，Arrayforce™气液膜接触器可以将纯水的电导

率提高到用户需要的水平。

2. Arrayforce™气液膜接触器的疏水机理

Arrayforce™气液膜接触器的内部，由几千至数万根中空纤维编织之后，再与中心布水管一起封入膜壳：

致密皮层上的微孔允许气态分子在中空纤维的内外两侧自由穿过，而阻隔液态水使其始终在中空纤维的一侧（一般液态水被阻隔在中空纤维的外部）。

3. Arrayforce™气液膜接触器用于实验分析液体中脱气的规格型号