晶圆和面板的冲洗过程会产生静电,不及时消除的话会对晶圆或者面板的产品质量产生负面影响!
目前消除静电上佳方法是向水中充入二氧化碳,提高冲洗水的电导率。Arrayforce™气液膜接触器可以非常高效地完成水中充二氧化碳的工作。
1. 膜接触器水中充二氧化碳原理
Arrayforce™气液膜接触器内部填充了大量疏水性的中空纤维,中空纤维的表面上布满了“透气不透水”的微孔。
运行过程中,中空纤维外部流过待充气的纯水,内部注入高浓度二氧化碳。二氧化碳会穿过这些“透气不透水”
的微孔溶入纯水中。
基于高密度中空纤维填充率,以及中空纤维优异的透气效果,Arrayforce™气液膜接触器可以将纯水的电导
率提高到用户需要的水平。
2. Arrayforce™气液膜接触器的疏水机理
Arrayforce™气液膜接触器的内部,由几千至数万根中空纤维编织之后,再与中心布水管一起封入膜壳:
致密皮层上的微孔允许气态分子在中空纤维的内外两侧自由穿过,而阻隔液态水使其始终在中空纤维的一侧(一般液态水被阻隔在中空纤维的外部)。
3. Arrayforce™气液膜接触器用于实验分析液体中脱气的规格型号
规格 | 膜面积 | 流量范围 | 膜丝材质 | 外壳材质 | 工作温度 | 工作压力 | 耐受PH |
1×5.5 | 0.1 m² | 30-300 ml/min | PMP/SP | PP | 5~70°C | 7/2bar | 1~14 |
2×6 | 0.35 m² | 50-1000 ml/min | PMP/SP | PP | 5~70°C | 7/2bar | 1~14 |
2.5×8 | 1.41 m² | 1.67-11.67 L/min | PP/PMP/SP | PP | 5~70°C | 7/2bar | 1~14 |
4×13 | 7.66 m² | 3.33-50 L/min | PP/PMP/SP | PP | 5~70°C | 7/2bar | 1~14 |