130系列滤芯适用于高世代线液晶面板生产制造工艺，主要应用在高流量要求的工艺点，130系列滤芯能够达到超过200L/min的流量要求，精致的外观结构能够充分满足设备对空间的要求，2m²以上的滤膜面积不仅具备高流量的性能，也具备高纳污量的性能，能够减少设备在使用过程中因更换滤芯而造成的设备停机次数。130系列滤芯有多种膜材与多种精度可选。

特性优点

高通量

过滤面积达到2m² 以上。经过耐压测试，适用于高压场合。单支滤芯能满足标况下200L/min的流量要求。

有效节约成本

单只滤芯的大过滤面积，高通量以及高纳污量，延长了滤芯的使用时间，减少了滤芯的更换频率和停机时间，降低了系统成本。

多种滤材、广泛过滤精度

可针对不同工艺点的要求选择不同滤材(PP/PES/PTFE)和各种精度(0.05-90μm)可选，适用范围广。

电子级材料

130系列滤芯的支撑、外壳、中心杆及端盖，均采用高纯的电子级PP材料。采用非接触的焊接技术，不添加胶黏剂和表面活性剂，有效控制过滤过程中的析出问题，保证了滤芯的使用安全。