PTFE（聚四氟乙烯）材料以其卓越的高温耐受性和化学兼容性，在湿法刻蚀和清洗工艺等领域有着广泛的应用。

科百特的Chemphobic™/Chemrapid™系列高纯化学品过滤器，采用科百特自主研发的高性能PTFE滤膜，专门为湿法刻蚀和清洗工艺中的高温、强氧化性和强腐蚀性的高纯化学品而设计。这些过滤器适用于SPM、H3PO4、HNO3、H2O2、SC1、SC2、TMAH、DIO3，EKC，NMP、IPA等高纯化学品的过滤需求。

Cobetter Chemrapid™系列产品优势

高截留效率：滤芯具备卓越的2nm的过滤精度，能够在高温、强酸、强碱和有机溶液中保持高效稳定的颗粒截留能力。

亲水改性滤膜：该系列PTFE滤膜经过表面改性处理，提高了滤膜的表面张力。这一特性有效地防止液体中的微小气泡堵塞膜孔，确保在SPM、H2O2、SC1等高纯化学品的过滤时保持稳定的流速。

复合膜结构：该系列高精度PTFE滤膜采用复合结构设计，能够对溶液中不同尺寸的颗粒实现分级过滤，这在保证截留效率和流速的同时，延长滤芯使用寿命。

卓越的洁净度：科百特采用先进的清洗工艺，确保该系列过滤器在强酸、强碱、有机溶剂中的杂质溶出非常低，以确保满足高阶制程对洁净度的严格要求。

Cobetter Chemrapid™ 系列产品在客户端的应用案例

 在客户端的应用案例科百特Chemrapid™系列高洁净度的过滤器在SC1中表现出很低的金属离子溶出，从而有效降低了晶圆上Worm Defect的产生。此外，该产品经过短时间的flush就可以将总的溶出量稳定在Spec内，从而提升工艺良率，减少启动时间，提升产能。

 客户Worm Defect改良实例

科百特Chemrapid™系列高效率2 nm过滤器具有优秀的颗粒截留能力，可以有效降低在高端制程的高纯化学品中纳米级别的颗粒，从而保证工艺的清洗质量。

客户Particle Performance 改良实例