LAFS系列滤芯外壳采用电子级不锈钢316L，内部滤芯采用PFA材料，专门应用于半导体制程的管路气体过滤，其采用滤膜PTFE，能够高效取出气体中的颗粒。同时耐腐蚀的材料能够应用于各种特殊气体的的过滤，一体式的结构，结构紧凑，    更换方便，操作容易，同时不锈钢耐温耐压，使用于高压的环境中。

优点特性

• 高通量 低压损

  PTFE滤膜的天然疏水性，使其过滤气体时,具有超大过滤通量和超低的初始压差。

   

• 氦气泄露测试

  通过出厂前进行氦气泄露测试，保证产品质量。

   
  

• 电子级外壳处理

  外壳内表面采用电解抛光，Ra小于0.3μm，内壁表面耐腐蚀、清洁如镜。

   
  

• 预处理等级

  滤芯部分与零部件都经过彻底清洗，在无尘室内进行生产、包装，滤芯的附着颗粒少，含水量<10ppb。能够快速启动过滤。

   
  

• 优异的化学相容性

  膜材采用PTFE，外壳使用高纯度的电子级SUS316L材质，均具有优异的耐腐蚀性能，可以用于活性气体的过滤。同时，确保高温高压状态下气体的稳定过滤。

   
  

• 精密过滤

  过滤精度达到≥3nm,实现气体的精密过滤。