CMPA系列滤芯利用独特的卷绕设计,能够对CMP的slurry精准过滤,高效拦截大颗粒,放行有效颗粒。由外到内的梯度结构,增加了纳污空间,延长滤芯使用寿命。
优点特性
低析出
完全由聚丙烯材料构成,利用热粘合技术,不使用粘合剂,超少的溶出物,有效控制溶出物析出。
梯度过滤结构
由外到内的梯度设计,避免了凝结的slurry过快堵塞滤膜表层,充分利用纳污空间。
有效过滤
独特的卷绕设计,能够实现对CMP的slurry精准过滤。高效拦截大颗粒,放行有效颗粒。
防止纤维脱落
特有的网罩结构,防止了滤芯的纤维脱落。